新镀膜机到了如何让它正常生产西安
新镀膜机到了,如何让它正常生产?
新镀膜机到了,如何让它正常生产?2014-09-22 17:43核心提示:新镀膜机到了,如何让它正常生产?新镀膜机到了,如何让它正常生产? ??? ?新镀膜机到了,如何让它正常生产? ?????1)、正确无误的安装设备;? ?????2)、检查水、电、气是否符合要求;按上少下多的原则初步调整布气孔? ?????3)、按说明说要求检测真空性能;若不符合要求,排除故障,使之符合要求;? ?????4)、测试溅射电源;并使之与控制部分匹配;? ?????5)、确定本底真空:实际使用中以可以起靶为标准,一般定在1.0×10-2帕左右,新机器定在6.7×10-3以下;? ?????6)、关光栏阀,确定氩气流量范围;认为真空室内没有其他气体就可以了。本底达到后,开光栏阀,此时压强会自然上升,当压强稳定后,记录压强值;此值的5--15倍既可作为工作压强,通氩气,使真空室的压强达到工作压强,此时的流量为氩气流量范围,如:打开光栏阀后,压强稳定在3.0×10-2帕,工作压强可定为0.03×5--15=0.15--0.45帕,通入氩气,使真空室压强达到0.15--0.45帕,流量为30--60,则氩气范围定为30--60;? ?????7)、洗靶;正常的洗靶(炼靶)方式就不说了,说一下尽量快的完成洗靶吧:安装靶的时候,外包装不要拆下(以免污染靶材),安装完成后再拆掉;真空室清理干净(最起码靶座、靶帽周围要干净);抽真空时真空度要高于正常工作时的本底真空度(比如正常在1.0负2,洗靶时达到6.7负3),在洗靶过程中 可以将氩气流量加大,并关掉光栏阀,电流一般从5-10安慢慢往上加,一开始可以加的快一点,稳定后再加,一直到正常值,电压会稍高一点的,是正常的(也有低的),可以将工艺电压提高,恢复生产,做的过程再将电压逐渐降低。一般洗靶10分钟左右就好了,而且这一炉管子还是可以用的,若将靶材抛光,洗的会更快 ?? ?????8)、按以下所讲方法确定氮气流量、电压、电流,工艺时间;? ?????本底真空:实际使用中以可以起靶为标准,一般定在0.01帕左右, ? ?????氩气:认为真空室内没有其他气体就可以了。本底达到后,开光栏阀,此时压强会自然上升,当压强稳定后,记录压强值;此值的5--15倍既可作为工作压强,通氩气,使真空室的压强达到工作压强,此时的流量为氩气流量范围,如:打开光栏阀后,压强稳定在0.03帕,工作压强可定为0.03*5--15=0.15--0.45帕,通入氩气,使真空室压强达到0.15--0.45帕,流量为30--60,则氩气范围定为30--60; ? ?????氮气:起靶之后呈梯度均匀的通入氮气,并记录每增加梯度流量(比如2)时的电压值(比如:流量分别注入0,2,4,6···40,42,44,46··52,54;电压分别为420,420,419····295,290,290,290,··290,290);则290伏为拐点电压,选择梯度变化的电压值(如420V,400V,380V,360V···320V,290V)所对应的流量值作为吸收层流量,? ?????如此选择一般为渐变膜,,现在一般做干涉膜,选择时,可以将最后一层跨度为前面跨度的2-3倍以上,(如420,390,360,290),以此电压对应的流量为氮气流量值 ????时间:首先最后一层一般要看颜色定时间的,纯铝层以不透明为度,记录这个时间,便为第一层(高反射层)时间(主要对红外不透明就好了),吸收层总时间一般接近纯铝层(厚度不足高反射层的一般),一般定为高吸收时间低于低吸收的时间,这个时间和流量还要根据吸收率、发射率进行调整,可以按照中午发的东西调整? ?????电流:电流会随着拐点电压的确立而确定,,一般也需要根据吸收率再调整。主要是根据靶基距来定功率的,但是从经验来讲,700机在30安左右,850机在40安左右,1050在50安左右,初步定好电流后,再根据流量、吸收率去调整,当然还要看电源的能力,最好不要超过电源额定电流的85%,以便保护电源。? ?????9)、输入工艺,进行调试,(按以发过的工艺调试方法),直至出合格产品.。? ?????尽量少的通入反应气体流量,提高溅射功率、使用中频电源等方法可以防止靶中毒。 ?????东莞汇成真空十多年来专业从事各种真空镀膜应用设备制造,不断引进国外先进的真空镀膜设备,多年来致力于研发和生产真空镀膜机,以最新技术不断制造出满足市场需要的真空电镀设备,为客户提供定制化的工艺解决方案和机器。欢迎广大顾客来电咨询,电话:0769-85611172。详情请关注:>
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